Potential of far-ultraviolet absorption spectroscopy as highly sensitive analysis method for aqueous solutions, part 2: monitoring quality of semiconductor wafer cleaning solutions using attenuated total reflection
| 業績名 | Potential of far-ultraviolet absorption spectroscopy as highly sensitive analysis method for aqueous solutions, part 2: monitoring quality of semiconductor wafer cleaning solutions using attenuated total reflection |
|---|---|
| 年度 | 2008 |
| 研究機関名 | 農業・食品産業技術総合研究機構 |
| 発表者所属 | |
| 発表者 |
Noboru Higashi（クラボウ） Akifumi Ikehata（農研機構食総研） Naomi Kariyama（クラボウ） Yukihiro Ozaki（関西学院大学） |
| 発表論文(都道府県機関) |
Journal of Applied Spectroscopy,62(9),1022-1027 |
| 課題 | ｅ．農産物・食品の機能性評価技術の開発及び機能性の解明 |
| カテゴリ |
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